日本Canon Tokki的蒸鍍機(jī)。 未來(lái)可卷曲、如紙一樣輕薄的各類(lèi)終端屏幕主要選材是OLED（有機(jī)發(fā)光二極管），OLED生產(chǎn)過(guò)程重要的一環(huán)就是“蒸”，工藝難度。 真空蒸鍍機(jī)就如同OLED面板制程的“心臟”，被日本Canon Tokki獨(dú)占市場(chǎng)，說(shuō)其掌握著OLED產(chǎn)業(yè)的咽喉也不過(guò)分，業(yè)界對(duì)它的年產(chǎn)量預(yù)測(cè)通常在幾臺(tái)到十幾臺(tái)之間。有錢(qián)也買(mǎi)不到，說(shuō)的就是它。 可惜，目前我國(guó)還沒(méi)有生產(chǎn)蒸鍍機(jī)的企業(yè)，在這個(gè)領(lǐng)域我們沒(méi)什么發(fā)言權(quán)。 這臺(tái)設(shè)備就如同生產(chǎn)OLED面板的“入場(chǎng)券”。Canon Tokki能把蒸鍍誤差控制在5微米以?xún)?nèi)蒸鍍是OLED制造工藝的關(guān)鍵，直接影響著OLED屏幕顯示，蒸鍍機(jī)的工作就是把OLED有機(jī)發(fā)光材料、均勻、可控地蒸鍍到基板上。

作為OLED生產(chǎn)工藝來(lái)講，僅僅靠蒸鍍機(jī)就能夠完成全部工作？事實(shí)上，生產(chǎn)過(guò)程的工藝控制以及品質(zhì)控制同樣重要。作為品質(zhì)控制的重要組成部分，分析儀器在OLED液晶的生產(chǎn)過(guò)程所起的作用越來(lái)越被廠商所認(rèn)識(shí)到并接受。

水滴角測(cè)試儀作為界面化學(xué)的分析儀器以來(lái)以服務(wù)于各大科研院所、學(xué)校的研發(fā)，特別是新材料的研發(fā)的形像而出現(xiàn)。但很少有人注意到其在電子、半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用。中國(guó)臺(tái)灣企業(yè)作為先行者，自20世紀(jì)90年代開(kāi)始即開(kāi)始采購(gòu)來(lái)自美國(guó)、日本、德國(guó)的水滴角測(cè)量?jī)x，并利用其精密分析、靈敏度高的特性，提升電子材料生產(chǎn)、半導(dǎo)體、晶圓、液晶屏的制造工藝中。以來(lái)，德國(guó)和日本的水滴角測(cè)試儀以及特有的Young-Laplace方程擬合技術(shù)以及全自動(dòng)分析功能，基本上在半導(dǎo)體和液晶行業(yè)形成了有效的技術(shù)壁壘。中國(guó)的水滴角測(cè)試儀廠商雖然一直在努力，但是，由于核心的算法技術(shù)仍停留在1950年代的圓擬合、橢圓擬合的量角器階段，因而，在半導(dǎo)體行業(yè)、液晶行業(yè)以來(lái)以邊角料的形像展現(xiàn)。在用戶(hù)看來(lái)，測(cè)試精度不高、測(cè)值結(jié)果不可信是國(guó)產(chǎn)水滴角測(cè)試儀的致命之處。

上海梭倫作為美國(guó)科諾中國(guó)戰(zhàn)略投資公司，于水滴角測(cè)試儀在中國(guó)的研制與技術(shù)推廣，是上海市、國(guó)家科技部創(chuàng)新基金扶持單位，擁有3項(xiàng)上海市高新成果轉(zhuǎn)化項(xiàng)目，20多項(xiàng)技術(shù)。上海梭倫并取得國(guó)家發(fā)明授權(quán)的阿莎算法（ADSA-RealDrop）算法，基于世界的A.W.Neumann教授的Young-Laplace方程擬合技術(shù)，并實(shí)現(xiàn)了應(yīng)用于真正固體材料表面分析的非軸對(duì)接觸角測(cè)量，實(shí)現(xiàn)了對(duì)美、日、德三國(guó)儀器廠商的技術(shù)壁壘的突破，在技術(shù)水平以及應(yīng)用可靠性、測(cè)值靈敏度方面均取得了重大突破，處于明顯的地位。

1、水滴角測(cè)試儀應(yīng)用于OLED蒸鍍的技術(shù)要點(diǎn)包括：

（1）利用水滴角測(cè)試儀的阿莎算法可以靈敏分析水滴左、右角水滴角度值的的技術(shù)要點(diǎn)，測(cè)試蒸鍍材料以后的樣品表面的水滴角度值。如果出現(xiàn)水滴角度值左、右偏差超過(guò)1度的位置點(diǎn)，則說(shuō)明蒸鍍均勻度不好；

（2）利用水滴角測(cè)試儀的阿莎算法可以測(cè)得固體材料表面的物理化學(xué)性質(zhì)的特性，通過(guò)實(shí)際測(cè)試得到的被測(cè)試固體、被鍍固體的表面自由能、水接觸角值，并利用潤(rùn)濕包絡(luò)圖，分析可潤(rùn)濕性，研發(fā)新材料，改進(jìn)新工藝。

（3）利用水滴角測(cè)試儀的探針液體-蒸餾水的高油污敏感度，測(cè)試材料的污染情況。

水滴角測(cè)試儀測(cè)得的干凈的材料的水滴角情況：可以看出，水滴角度值左、右?guī)缀醣３忠恢隆?/p>

水滴角測(cè)試儀測(cè)得的不干凈的材料的水滴角情況：可以看出，水滴角度值左、右相差較大。

同時(shí)通過(guò)如上兩張圖片對(duì)比可以看出，阿莎算法可以而靈敏地判斷出水滴角的變化，為分析均勻度或清潔度提供高效、可靠的方法。

2、水滴角測(cè)試儀與中國(guó)制的偽水滴角測(cè)試儀的區(qū)別在于：

水滴角測(cè)試儀要求算法能夠基于修正重力系數(shù)后，綜合將表面張力、接觸角參與運(yùn)算并得到非軸對(duì)稱(chēng)條件下水滴角值。而中國(guó)一些廠商宣稱(chēng)的水滴角測(cè)試儀提供的WH法或量高法、橢圓擬合法或切線法，在實(shí)際中也可以測(cè)得左、右角度值。但是，

（1）這樣的左右角度值并沒(méi)有修正重力系數(shù)，與界面化學(xué)分析無(wú)關(guān)，因而這樣的所謂的水滴角測(cè)試儀的數(shù)據(jù)的科學(xué)性得不到

（2）另一方面，水滴角的變化即可能是由于液滴量的變化或重力影響造成的。而此時(shí)，如果不修正重力，出現(xiàn)微小的水滴角的變化，是本身材料的變化還是重力造成的，就無(wú)法判斷出來(lái)；

基于阿莎算法的真正的水滴角測(cè)試儀要求必須提供：

（1）水滴角測(cè)試儀必須提供樣品臺(tái)的微米級(jí)控制水平調(diào)整機(jī)構(gòu)；

（2）水滴角測(cè)試儀必須提供鏡頭微米級(jí)控制的水平調(diào)整機(jī)構(gòu)；

且如上兩個(gè)機(jī)構(gòu)必須是獨(dú)立分開(kāi)單獨(dú)運(yùn)行。

而中國(guó)制造的很多不的所謂的水滴角測(cè)試儀不能提供如上功能，此時(shí)極可能出現(xiàn)的問(wèn)題包括：

（1）出現(xiàn)的左、右角度值的變化是由于左、右傾斜的樣品臺(tái)造成的還是材料本身的原因？

（2）出現(xiàn)水平基線無(wú)法判斷（向上仰視）或向下俯視的情況，兩者均會(huì)導(dǎo)致角度變化。更為重要的是，俯視條件下，即使俯視角度是固定的，也是無(wú)法通過(guò)簡(jiǎn)單的軟件將所測(cè)得的角度值進(jìn)行修正，因而，不同的測(cè)試角度值，所修正的角度與測(cè)得的角度是非線性關(guān)系。因而，為可靠的解決方案是測(cè)試3D接觸角，這樣才可以解決問(wèn)題。

具體的俯視1-5度條件下水滴角的影響值會(huì)在6-9%左右。了解更詳細(xì)信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)1t6g.com 下載PPT資料

理想的條件下，液晶屏（OLED或LCD）的水滴角在頂視時(shí)應(yīng)是這樣的理想圓形，在水滴角測(cè)試儀側(cè)視條件下，水滴角表面為左、右對(duì)稱(chēng)。當(dāng)然，如果儀器本身就無(wú)法判斷或判斷出左、右值，那就談不上符合液晶行業(yè)的應(yīng)用了。